Представљамо АЛУМИНА МАТЕРИЈАЛ

Алумина КерамикаКомпоненте имају одлична својства као што су велика тврдоћа, висока механичка чврстоћа, супер отпорност на хабање, висока температурна отпорност, висока отпорност и добри извор електричне изолације. Они могу да испуне сложене захтеве за перформансама производње полуводича у посебним окружењима као што су вакуум и висока температура. Они играју незамјењиву и важну улогу у производњи производње полуводича. Њихове апликације покривају готово све опрему за производњу полуводича и кључне су компоненте производне опреме полуводича. Уз континуирани развој полуводичке индустрије, важност алумина керамичких компоненти у индустријском ланцу постаће значајнији.

Како се величина функција чипа смањује, полуводичка опрема има строге захтеве за компонентима и његова густина, уједначеност, отпорност на корозију итд. Морају бити веће. Последњих година, домаћи и страни учењаци су развили разне нове процесе за побољшање услова синтеровања глишерских керамичких материјала, тако да могу постићи брзу гунсификацију материјала на нижим температурама синтеровања, као што су само-поражавајуће синтеровање високих температура, блистав синтеровање, ближе синтеровање, хладно синтеровање и осцилирајући синтеровање притиска. Међу њима је хладно синтеровање додавање пролазаног растварача у прах и наносити велики притисак (350 ~ 500МПА) да би се побољшало преуређивање и дифузију између честица, тако да се керамички прах може синтетирати и гунсификовати на нижој температури (120 ~ 300 ℃) и краће време.

Тренутно је у нивоу 3-нанометара на нивоу 3-нанометара. Посемична опрема и полуводичка опрема Прецизне компоненте морају се континуирано развијени и надоградити и морају се побољшати процесирање у складу са производним потребама за производњу низводно. Једном када се ажурира полуводичка опрема, специфични захтеви нове опреме за компоненте ће се променити синхроно. Са развојем полуводичке технологије, захтеви за перформансе за алумина керамичке компоненте постају већи и већи, укључујући већу отпорност на хабање, високу температуру отпорност и бољу електричну изолацију. Трендови индустрије имају тенденцију да развијају већу чистоћу, финију структуру Алумина прашкастом материјалима и усвоје напредне технологије припреме.

Алумина Керамикаимају веома високе захтеве чистоће када се користе у пољу полуводича, углавном веће од 99,5%. У пољу полуводича, алумина керамички делови су један од кључних делова полуводичке опреме. Већина њих се у коморама ближе вафру. У полуводичкој опреми, они су класификовани коришћењем и углавном су подељени у прстенасти цилиндри, водичи за ваздух, фиксне утовариве, подручне руке, модуле итд.

У процесу јеткања, како би се смањила контаминација вафла током јеткања на плазми, али-чистоће глинове премаза или алумина керамика са снажним отпором на корозији бирају се као заштитни материјали за Ектинг комору и коморе за већу и већу облогу.

У процесу чишћења у плазми користе се корозивни гасови који садрже високо реактивне халогене елементе као што су флуор и хлор. Млазница за гас је обично направљена од глинине керамике која је потребна да имају високу отпорност на плазми, диелектричну снагу и снажну отпорност на корозију на процесне гасове и нуспроизводе. У исто време, структура унутрашње прецизне рупе користи се за тачно контролу тока гаса.

У процесу производње полуводича, вафли може проћи третман високих температура, као што је ЕТЦХИНГ, ИОН имплантацију итд. Као носач преноса стражара, Алумина Вафер Царриер може да обезбеди стабилност и сигурност решетка током процеса преноса. Алумина Валер Царриер има добру топлотну проводљивост и може се ефикасно растјерати и извозити топлоту коју је створио вафар, на тај начин штитећи вафли из топлотне штете.

У руковању вафлима користиће се керамичка роботска рука направљена од Алумина керамике. Биће инсталиран на роботу за решавање резина, што је еквивалентно руци робота. Одговорна је за ношење реф-а на одређену локацију, а његова површина је у директном контакту са вафром. Будући да су вафли изузетно подложни контаминацији другим честицама, углавном се изводе у вакум окружењу. У овом окружењу, роботске руке већине материјала углавном је тешко да заврше посао. Материјали који се користе за прављење роботских руку морају бити отпорне на високе температуре, отпорне на хабање и имају велику тврдоћу. Због потреба услова рада, они су углавном израђени од изузетно високе чистоће глински керамички материјали, а точност и храпавост површине керамичких делова морају се гарантовати.

Семицорек нуди висококвалитетниАлумина Керамички деловиУ полуводичу, укључујући СИЦ премазе и тачке премазе. Ако имате било каквих питања или су вам потребне додатне детаље, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

Контакт телефон # + 86-13567891907

Емаил: салес@семицОрек.цом