Керамичке грејалице

У предњем процесу (фел) производње полуводича,вафрентреба да буде подвргнут различитим третманима процеса, посебно вафла треба да се загреје на одређену температуру, а постоје строги захтеви, јер уједначеност температуре има веома важан утицај на принос производа; Истовремено, полуводичка опрема мора да ради у присуству вакуума, плазме и хемијских гасова, што захтева употребу керамичких грејача.Керамичке грејалицесу важне компоненте опреме за танкој танкој танкој танкој танке. Користе се у процесној комори и директно се обратите резину да носе и омогућавају резину да добије стабилну и јединствену температуру процеса и да реагује са високом прецизношћу на површини резине на површини резета.

Пошто танка опрема за уклањање филма која се користи керамички грејачи укључује високе температуре, керамички материјали углавном засновани на алуминијум нитридном (АЛН). Јер алуминијум нитрид има електричну изолацију и одличну топлотну проводљивост; Поред тога, његов коефицијент топлотног експанзије је у непосредној близини силицијума и има одличну отпорност у плазми, веома је погодан за употребу као компонента полуводичке опреме.

Електростатичким стезаљкама (ЕСЦС) се углавном користе у струци за стругање, углавном алуминијум оксид (АЛ2О3). Пошто и сам електростатичка Цхуцк садржи грејач, узимање сувог јеткања као пример, потребно је да контролишете резину на специфичној температури у опсегу од -70 ℃ ~ 100 ℃ да бисте одржали одређене карактеристике јеткања. Стога се вафли треба загрејати или расипати електростатичким Цхуцк-ом да би тачно контролисао температуру од валице. Поред тога, како би се осигурала униформност површине резине, електростатичка Цхуцк често треба да повећа зону контроле температуре да контролише температуру сваке зоне контроле температуре одвојено да би се побољшао принос процеса. Наравно, са развојем технологије, разлика између традиционалних керамичких грејача и електростатичких стезаљка је почела да постане замагљена. Неки керамички грејачи имају двоструке функције високих температура и електростатичког адсорпције.

Керамички грејач укључује керамичку базу која носи вафли и цилиндрично тело за подршку која је подржава на леђима. Унутар или на површини керамичке базе, поред елемента отпора (гријање) за грејање, постоји и радиофреквентна електрода (радио фреквенцијски слој). Да би се постигло брзо гријање и хлађење, дебљина керамичке базе треба да буде танка, али превише танка ће такође смањити чврстину. Тело потпора Грејара је углавном направљено од материјала са коефицијентом топлотног експанзије сличан ономе базе, тако да је тело за подршку често израђено од алуминијум нитрида. Грејач усваја јединствену структуру зглоба (осовине) зглоба на дну, што може заштитити терминале и жице од ефеката плазме и корозивне хемијске гасове. Гружница и излазна цев за проводљивост топлоте обезбеђена је у тијелу за подршку да би се осигурала јединствена температура грејача. База и тело за подршку хемијски су везани са лепљивим слојем.

Семицорек нуди висококвалитетникерамичке грејалице. Ако имате било каквих питања или су вам потребне додатне детаље, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

Контакт телефон # + ​​86-13567891907

Емаил: салес@семицОрек.цом