Како напредни материјали решавају 3 критична изазова у дизајнирању пећи за полуводиче

Трка за смањивање величина транзистора и ефикасност скале соларне ћелије гура топлотну опрему за обраду на своје границе. У Семицорек-у провели смо две деценије сарадње са водећим полуводичким произвођачима и ПВ произвођачима да се позабавимо понављајућим тачкама у боли: када стандардни материјали не успевају под екстремним условима, целокупне производне серије могу се угрозити.

ЦВД премази: Оклоп за процесне компоненте

Хемијска таложење паре (ЦВД) Премази попут силицијум-карбида (СИЦ) и танталум карбида (ТАЦ) су револуционисање компонентне дуговечности у оштрим окружењима:

Сички премазПредности:

Избија температуре до 1.650 ° Ц у инертним атмосферима

Смањује контаминацију честица у реакторима епитаксија

Продужени радни век графичних суцептора са 3-5Кс

Превлака на тацУ баријерима дифузије:

Спречава да се растала инфилтрација силицијума у ​​ватри (99.999% задржавање чистоће)

Минимизира вафер варпаге током брзој термичко преради (РТП)

Када температуре прелазе 1600 ° Ц: Предност ЦВД ЦОАТИНГ

Ово није магија - наука о материјалима. Наш власнички ЦВД процес депонизује и СИЦ и ТАЦ премаз са прецизношћу атомског нивоа, стварајући површине које:

Опознајте силиконским паром корозијом 3к дуже од стандардних премаза

Одржавајте <0,5 μм варијације дебљине на сложеним геометријама

Елиминисати деламинацију премаза чак и под топлотним бициклизмом

Тиха криза у топлотној униформи

У пећима за раст кристала недоследна дистрибуција температуре може претворити силицијум од 250 хиљада долара у отпад. Кроз материјалне иновације попут:

ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ (0.18-0.25Г / ЦМ³ Дизајн градијент)

Композитни изолатори угљеник-угљеника са <2% термичке експанзије анисотропије

... Помогли смо клијентима да постигну:

✔ ± 1,5 ° Ц Аксијална уједначена температура у 300 мм Цзохралски системи

✔ 40% брже расхладне цене без пуцања ингота

Зашто је кварцно чистоћа битна више него икад

Када се на ливницу трагалих трагалих трагали су оштећења честица на њихове коморне лименке, нашу фузионирање БУББЛЕ ФРЕЕДЕ ЦХАРТЗ РЈЕШАВАЊЕ:

Смањена контаминација метала за 89% (ИЦП-МС анализа)

Проширени интервали превентивних одржавања од 3 до 8 месеци

Постигнуто 99.999% почетна чистоћа са <0,1ппб алкални садржај метала

Поред спецификација: Инжењеринг апликације

Иако техничке спецификације пружају основне поређења, перформансе у стварном свету зависи од:

• Спојница за процеси материјала - Како компоненте комуницирају са специфичним хемијским службама (нпр. ЦЛ₂ вс. Сф₆ плазме)

• Библиотеке о режиму квара - Наша база података од 1.200+ случајева квара компоненти информише избор материјала

• прилагођена оцена - подешавање графитне порозности / проводљивости преко дела пресјека

Семицорек нуди висококвалитетниТанталум Царбиде обложенаиСИЛИЦОН ЦАРБИДЕ БОЕПХЕДПрилагођени делови. Ако имате било каквих питања или су вам потребне додатне детаље, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

Контакт телефон # + ​​86-13567891907

Емаил: салес@семицОрек.цом